碳化硅懸臂槳/光伏懸臂槳

反應燒結碳化硅懸臂漿，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。光伏新能源行業用的碳化硅槳，主要規格2378，2550，2660、3560、3580、3750毫米等，應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環境中（1000---1300℃）的承載輸送作用。

　　懸臂漿性能穩定，在高溫環境下不變形，晶圓裝載力大，適用于機器人自動裝載和搬運系統。由于懸臂漿截面穩定不變形，使得利用現有的爐管制備更大規格晶圓成為可能。懸臂漿與LPCVD涂層的熱膨脹系數相近，應用于LPCVD，極大地延長了維護清洗的周期，并大幅減少污染物。